Date
ABS
数据类型: B:n 引用: S2F25 S2F26
二进制字符串 示例(数据值): "B:18 0x00 0x01 0x03 0x03 0x0a 0x0d 0x1b 0x5d 0x18 0x18 0x18 0x1a 0x04 0x13 0x7f 0x80 0xfe 0xff"
ACCESSMODE
数据类型: U1:1 引用: S3F21 S3F27
load port access mode 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 手动 1 - 自动
ACDS
数据类型: U2:1 引用: S7F22
命令代码之后 示例(数据值): "U2:1 0"
ACKA
数据类型: TF:1 引用: S5F14 S5F15 S5F18 S16F4 S16F6 S16F7 S16F12 S16F16 S16F18 S16F24 S16F26 S16F28 S16F30 S17F4
S17F8 S17F14
request success 示例(数据值): "TF:1 1"
ACKC10
数据类型: B:1 引用: S10F2 S10F4 S10F6 S10F10
acknowledge code 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 已接受显示 1 - 消息不会显示 2 - 终端不可用
ACKC13
数据类型: B:1 引用: S13F2 S13F4 S13F6 S13F8
acknowledge code, 0 ok 示例(数据值): "B1:1 0x00"
1 - 重试错误 2 - 不知晓的数据集名称 3 - 非法的检查点值 4 - 打开的数据集数量过多 5 - 数据集被打开的次数过多 6 - 未打开的数据集 7 - 无法继续 8 - 数据已结束 9 - 指定的句柄正在使用中 10 - 待处理的事务
ACKC15
数据类型: B:1 引用: S15F50 S15F52
acknowledge code, 0 ok 示例(数据值): "B1:1 0x00"
1 - 用于异步完成 2 - DSNAME 未找到 3 - 权限未授予 4 - 未指定错误
ACKC3
数据类型: B:1 引用: S3F6 S3F8 S3F10
acknowledge code, 0 ok 示例(数据值): "B:1 0x00"
ACKC5
数据类型: B:1 引用: S5F2 S5F4
acknowledge code, 0 ok 示例(数据值): "B:1 0x00"
ACKC6
数据类型: B:1 引用: S6F2 S6F4 S6F10 S6F12 S6F14 S6F26
acknowledge code, 0 ok 示例(数据值): "B:1 0x00"
ACKC7
数据类型: B:1 引用: S7F4 S7F12 S7F14 S7F16 S7F18 S7F24 S7F32 S7F38 S7F40 S7F42 S7F44
S7 acknowledge code 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 已接受 1 - 权限未授予 2 - 长度错误 3 - 矩阵溢出 4 - PPID 未找到 5 - 不支持的模式 6 - 为异步完成而启动 7 - 存储限制错误
ACKC7A
数据类型: U4:1 引用: S7F27
process program check code 示例(数据值): "U4:1 0"
0 - 正常 1 - MDLN 不一致 2 - SOFTREV 不一致 3 - CCODE 无效 4 - PPARM 值无效 5 - 错误描述为 ERRW7
AGENT
数据类型: A:n 引用: S15F11 S15F12 S15F21 S15F22 S15F25
无需描述，无最大长度限制 示例(数据值): "A:20 admin@model-shop.net"
ALCD
数据类型: B:1 引用: S5F1 S5F6 S5F8
警报代码字节，值大于等于 128 时表示已设置警报，位字段的使用已不再推荐。 示例(数据值): "B:1 0x00"
ALED
数据类型: B:1 引用: S5F3
开启/关闭警报，128 表示开启，0 表示关闭 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 关闭警报 128 - 启动警报
ALID
数据类型: U4:1 引用: S5F1 S5F3 S5F6 S5F8
报警类型标识 示例(数据值): "U4 1000"
ALIDVECTOR
数据类型: U4:n 引用: S5F5
警报标识向量 示例(数据值): "U4:0"
ALTX
数据类型: A:120 引用: S5F1 S5F6 S5F8
警报文本的长度限制最近已从 40 个字符提高到了更高的数值。 示例(数据值): "A:31 [sensor timeout at load elevator]"
ASSGNID
数据类型: U1:1 引用: S20F12 S20F13 S20F15 S20F17 S20F18 S20F20 S20F21 S20F23 S20F27 S20F30 S20F32
配方 XID 基础部分分配者 示例(数据值): "U1 0"
0 - RMS 1 - 设备
ATTRDATA
数据类型: A:n 引用: S1F20 S3F35 S3F35 S13F13 S13F16 S14F1 S14F2 S14F3 S14F4 S14F9 S14F10 S14F11 S14F12 S14F13
S14F14
S14F15 S14F16 S14F17 S14F18 S18F2 S18F3
任何数据类型的一个特定属性值 示例(数据值): "A:26 http://208.112.85.149/secs"
ATTRID
数据类型: A:40 引用: S1F19 S3F35 S3F35 S13F13 S13F16 S14F1 S14F1 S14F2 S14F3 S14F4 S14F8 S14F9
S14F10 S14F11 S14F12 S14F13 S14F14 S14F15 S14F16 S14F17 S14F18 S18F1 S18F3
指定一种属性类型，范围为 0x20 至 0x7e（即空格至反斜杠之间的所有字符），但不包括“>”、“：”、“？”、“*”或“~”。 不以空格开头或结尾。 示例(数据值): "A:9 SourceURL"
ATTRRELN
数据类型: U1:1 引用: S14F1
一个值与对象的属性值之间的关系 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 相等
1 - 不相等
2 - 值 < 对象属性值
3 - 值 <= 对象属性值
4 - 值 > 对象属性值
5 - 值 >= 对象属性值
6 - 值是对象属性值集合中的元素
7 - 值不在对象属性值集合中
AUTOCLEAR_DISABLE
数据类型: U1:1 引用: S20F1
在从 SRO 状态切换至本地状态（E171）时，禁止自动清除配方。 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 自动清除未被禁用 1 - 自动清除已被禁用
AUTOCLOSE
数据类型: U2:1 引用: S20F1
关闭操作员会话的交互超时时间为：0 表示无限制。 示例(数据值): "U1:1 0"
AUTOPOST_DISABLE
数据类型: U1:1 引用: S20F1
在将 SRO 移至本地状态之前，禁止将食谱自动同步至 RMS 系统（E171） 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 自动发布功能未被禁用 1 - 自动发布功能已禁用
BCDS
数据类型: U2:n 引用: S7F22
before command code vector 示例(数据值): "U2:4 72 85 109 101"
BCEQU
数据类型: U1:n 引用: S12F3 S12F4
二进制代码等效数组 示例(数据值): "U1:3 1 2 3"
BINLT
数据类型: U1:n 引用: S12F7 S12F9 S12F11 S12F14 S12F16 S12F18
一系列的计数器值、文本或 U1 数组 示例(数据值): "U1:3 3 4 5"
BLKDEF
数据类型: I1:1 引用: S7F22
命令定义块关系中，标准文档错误地指出类型 U1 是可能存在的。 示例(数据值): "I1:1 0"
-1 - 结束一个块 0 - 在块体内部 1 - 开始一个块
BPD
数据类型: B:n 引用: S8F2
启动程序数据 示例(数据值): "B:0"
BYTMAX
数据类型: U4:1 引用: S7F22
设置程序的最大字节数限制，0 表示无限制。 示例(数据值): "U4:1 0"
CAACK
数据类型: U1:1 引用: S3F18 S3F20 S3F22 S3F24 S3F26 S3F28 S3F30 S3F32 S3F34
carrier 执行行动确认 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 正常 1 - 无效命令 2 - 现在无法执行 3 - 无效数据或参数 4 - 已启动以实现异步完成 5 - 拒绝 - 无效状态 6 - 命令执行有误
CARRIERACTION
数据类型: A:n 引用: S3F17
carrier 执行行动需求 示例(数据值): "A:18 [ProceedWithCarrier]"
CARRIERID
数据类型: A:n 引用: S3F17 S16F11 S16F15
carrier ID 示例(数据值): "A:9 [CSX 52078]"
CARRIERSPEC
数据类型: A:n 引用: S3F29 S3F31
carrier 对象标识符 (OBJSPEC) 示例(数据值): "A:17 [Carrier:CSX 52078]"
CATTRDATA
数据类型: A:n 引用: S3F17
carrier 属性值（任何数据类型） 示例(数据值): "A:7 product"
CATTRID
数据类型: A:n 引用: S3F17
carrier 属性标识符,E87 标准要求参照 E39.1 第 6 节的规定。 示例(数据值): "A:5 Usage"
CCEACK
数据类型: U1:1 引用: S20F8
事件完成 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 成功 1 - 错误
CCODE
数据类型: A:n 引用: S7F22 S7F23 S7F26 S7F31
操作命令处理 示例(数据值): "A:5 [50 54]"
CEED
数据类型: TF:1 引用: S2F37 S17F5
收集事件或跟踪启用功能，启用状态为“真” 示例(数据值): "TF:1 1"
CEID
数据类型: U4:1 引用: S1F23 S1F24 S2F35 S2F37 S2F55 S2F56 S2F58 S6F3 S6F8 S6F9 S6F11 S6F13 S6F15 S6F16 S6F17
S6F18 S17F9
S17F10 S17F11 S17F12
集合事件标识符，GEM 要求的类型为 Un 示例(数据值): "U4:1 4050"
CEIDSTART
数据类型: U4:1 引用: S17F5
启动事件的CEID 示例(数据值): "U4:1 4050"
CEIDSTOP
数据类型: U4:1 引用: S17F5
结束事件的CEID 示例(数据值): "U4:1 4050"
CENAME
数据类型: A:n 引用: S1F24 S2F56
一个用于描述数据收集活动的名称 示例(数据值): "A ProcessStateUpdate"
CEPACK
数据类型: B:1 引用: S2F50
命令“增强参数确认”，可以是列表形式或嵌套列表结构，以与 CEPVAL 的输入结构相匹配。 示例(数据值): "B:1 0x00"
1 - CPNAME 的值未定义 2 - CEPVAL 的值非法 3 - CEPVAL 的格式非法 4 - 使用的 CPNAME 不合法
CEPVAL
数据类型: A:n 引用: S2F49
一个增强后的参数值可以是任意类型的标量、相同类型的值列表，或者是可能包含嵌套结构的值列表。 [L:2 CPNAME CEPVAL] 示例(数据值): "A:0"
CHKINFO
数据类型: A:n 引用: S20F31
用户自定义值，任意类型 示例(数据值): "A:44 [S20 has inverted booleans specified as enums]"
CKPNT
数据类型: U4:1 引用: S13F3 S13F6
由发送方定义的数据集检查点 示例(数据值): "U4:1 28956"
CMDA
数据类型: B:1 引用: S2F22 S2F28
命令回复 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 成功 1 - 指令不存在 2 - 现在不行
CMDMAX
数据类型: U1:1 引用: S7F22
允许的最大命令数量为 0，则表示无限制。 示例(数据值): "U1:1 0"
CNAME
数据类型: A:16 引用: S7F22
CCODE 的文本名称 示例(数据值): "A:13 [spin motor on]"
COACK
数据类型: U1:1 引用: S20F10
服务完成结果 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 成功
1 - 失败
COLCT
数据类型: U4:1 引用: S12F1 S12F4
die的列数以递增方式排列 示例(数据值): "U4:1 30"
COLHDR
数据类型: A:20 引用: S13F13 S13F15 S13F16
表列名 示例(数据值): "A:4 Code"
COMMACK
数据类型: B:1 引用: S1F14
establish communications acknowledgement code 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 同意 1 - 拒绝
COMPARISONOPERATOR
数据类型: U1:1 引用: S19F1
比较运算符的选择。 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 等于 1 - 不等于 2 - 小于 3 - 小于或等于 4 - 大于 5 - 大于或等于 6 - 包含子字符串 7 - 不包含子字符串
CONDITION
数据类型: A:n 引用: S18F16
子系统状态信息标签
COPYID
数据类型: U1:1 引用: S20F12 S20F13 S20F15 S20F17 S20F18 S20F20 S20F21 S20F23 S20F27 S20F30 S20F32
Recipe 复制类型 示例(数据值): "U1:1 0"
CPACK
数据类型: B:1 引用: S2F42
远程命令参数确认，仅在出现错误时接收 示例(数据值): "B:1 0x01"
1 - 未知的 CPNAME 2 - CPVAL 的值非法 3 - CPVAL 的格式非法
CPNAME
数据类型: A:n 引用: S2F41 S2F42 S2F49 S2F50 S4F21 S4F29 S16F5 S16F27
命令参数名称 示例(数据值): "A:10 ppexecname"
CPVAL
数据类型: A:n 引用: S2F41 S4F21 S4F29 S16F5 S16F27 S18F13
命令参数值，任何标量类型 示例(数据值): "A:14 cmos168-zl0EC3"
CSAACK
数据类型: U1:1 引用: S2F8
设备确认结果 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 成功 1 - 工作繁忙 2 - SPID 无效 3 - 数据无效
CTLJOBCMD
数据类型: U1:1 引用: S16F27
CJob命令 示例(数据值): "U1:1 1"
1 - 开始 2 - 暂停 3 - 继续 4 - 取消 5 - 取消选择 6 - 停止 7 - 中止 8 - HOQ
CTLJOBID
数据类型: A:n 引用: S16F27
CJob ID, an OBJID 示例(数据值): "A:7 [job0001]"
DATA
数据类型: A:n 引用: S3F30 S3F31 S18F6 S18F7
未格式化的数据 示例(数据值): "A:0"
DATAACK
数据类型: B:1 引用: S14F22
确认结果 示例(数据值): "B:1 0"
0 - 正常 1 - 数据标识未知 2 - 至少有一个参数无效
DATAID
数据类型: U4:1 引用: S2F33 S2F35 S2F39 S2F45 S2F49 S3F15 S3F17 S4F19 S4F25 S6F3 S6F5 S6F7 S6F8 S6F9 S6F11
S6F13 S6F16 S6F18 S6F25 S6F27 S13F11 S13F13 S13F15 S14F19 S14F21 S14F23 S15F1 S15F13 S15F15 S15F21 S15F23 S15F25 S15F27 S15F29 S15F33 S15F35 S15F39 S15F41 S15F43 S15F45 S15F47 S16F1 S16F3 S16F5 S16F11 S16F15 S17F1 S17F5 S17F9
一个用于关联相关消息的标识符 示例(数据值): "U4:1 1"
DATALENGTH
数据类型: U4:1 引用: S2F39 S3F15 S3F29 S3F31 S4F25 S6F5 S13F11 S14F23 S16F1 S18F5 S18F7 S19F19
消息主体的总字节数 示例(数据值): "U4:1 649"
DATASEG
数据类型: A:n 引用: S3F29 S3F31 S18F5 S18F7
识别出所请求的数据后，E87 要求提供文字内容。 示例(数据值): "A:3 S01"
DATASRC
数据类型: A:n 引用: S17F1
标识一个数据源时，使用长度为 0 表示默认值 示例(数据值): "A:0"
DATLC
数据类型: U1:1 引用: S12F19
无效数据的位置，SECS-II 消息体中字节的偏移量 示例(数据值): "U1:1 200"
DELRSPSTAT
数据类型: U1:1 引用: S19F4
PDE 删除请求的响应代码，非零值表示未成功删除 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 正常 1 - 未找到 2 - 锁定 255 - 其他错误
DIRRSPSTAT
数据类型: U1:1 引用: S19F2
获取目录状态响应 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 正常 1 - 过滤器错误 2 - 属性错误 255 - 其他错误
DRACK
数据类型: B:1 引用: S2F34
定义报告结果 示例(数据值): "B:1 0x00"
1 - 存储空间不足 2 - 格式无效 3 - 已定义 1 个或多个 RPTID 4 - 1 个或多个无效的 VID
DRRACK
数据类型: U1:1 引用: S20F14
服务完成结果 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 已完成 1 - 错误
DSID
数据类型: A:n 引用: S6F3 S6F8 S6F9
数据集标识符，类似于报告类型 示例(数据值): "A:2 12"
DSNAME
数据类型: A:50 引用: S7F37 S7F39 S7F41 S7F43 S13F1 S13F2 S13F3 S13F4 S15F49 S15F51
一个数据集的名称，例如“PPID” 示例(数据值): "A:28 [process program save archive]"
DSPER
数据类型: A:6 引用: S2F23
数据样本周期（格式为“hhmmss”）始终是被支持的，而“A:8 hhmmsscc”这一格式也可能被支持。 示例(数据值): "A:6 000500"
DUTMS
数据类型: A:n 引用: S12F1 S12F4
die 计量单位（依据 E5 第 12 节的规定） 示例(数据值): "A:2 [mm]"
DVNAME
数据类型: U4:1 引用: S6F3 S6F8
数据值名称通常被称为 VID，因此 GEM 需要使用 Un 类型。 示例(数据值): "U4:1 10"
DVVAL
数据类型: A:n 引用: S6F3 S6F8 S6F9
数据值，包括列表在内的任何格式均可 示例(数据值): "A:2 54"
DVVALNAME
数据类型: A:n 引用: S1F22
一个用于“数据值”变量（DVVAL）的描述性名称 示例(数据值): "A EventName"
EAC
数据类型: B:1 引用: S2F16
设备确认代码，0 表示正常。 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 正常 1 - 至少有一个常量不存在 2 - 系统繁忙 3 - 至少有一个值超出范围
ECDEF
数据类型: A:n 引用: S2F30
设备常默认值 示例(数据值): "A:1 0"
ECID
数据类型: U4:1 引用: S2F13 S2F15 S2F29 S2F30
设备常量 ID，GEM 需要 U4 示例(数据值): "U4:1 220"
ECMAX
数据类型: A:n 引用: S2F30
设备常量最大值，任何标量类型 示例(数据值): "A:3 100"
ECMIN
数据类型: A:n 引用: S2F30
设备常数最小值，任何标量类型 示例(数据值): "A:1 0"
ECNAME
数据类型: A:n 引用: S2F30
设备常量名称 示例(数据值): "A:10 TimeFormat"
ECV
数据类型: A:n 引用: S2F14 S2F15
设备常数值，任何标量类型（常量这一称呼有些不恰当） 示例(数据值): "A:1 1"
EDID
数据类型: A:80 引用: S9F13
预期的数据标识，包括 PPID、SPID或 PTN 示例(数据值): "A:12 [example PPID]"
EMID
数据类型: A:16 引用: S3F9
等效材料编号 示例(数据值): "A:1 1"
EPD
数据类型: B:n 引用: S8F4
执行项目数据方面，利用 SECS 来实现这一目标的设想又重新被提上了议事日程。 示例(数据值): "B:0"
EQID
数据类型: A:256 引用: S20F12 S20F13 S20F15 S20F17 S20F18 S20F20 S20F21 S20F23 S20F27 S20F30 S20F32
兼容设备的使用说明规格 示例(数据值): "A:11 [Nimbus 2000]"
EQNAME
数据类型: A:80 引用: S4F27
工厂分配的设备标识符 示例(数据值): "A:14 [nadasorter 103]"
EQUSERID
数据类型: A:64 引用: S20F5
用于配方使用认证的设备用户 ID 示例(数据值): "A:8 sysadmin"
ERACK
数据类型: B:1 引用: S2F38
启用/禁用事件报告确认 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 同意 1 - 拒绝
ERRCODE
数据类型: U4:1 引用: S1F20 S3F18 S3F20 S3F22 S3F24 S3F26 S3F28 S3F30 S3F32 S3F34 S3F36 S4F20 S4F22 S4F23 S4F31 S4F33 S5F14 S5F15 S5F18 S6F25 S6F30 S13F14
S13F16 S14F2 S14F4 S14F6 S14F8 S14F10 S14F12 S14F14 S14F16 S14F18 S14F20 S14F21 S14F26 S14F28 S15F4 S15F6 S15F8 S15F10 S15F12 S15F14 S15F16 S15F18 S15F20 S15F22 S15F24 S15F26 S15F28 S15F30 S15F32 S15F34 S15F36 S15F38 S15F40 S15F42 S15F44 S15F48 S15F53 S16F4 S16F6 S16F7 S16F12 S16F16 S16F18 S16F24 S16F26 S16F28 S17F2 S17F4 S17F6 S17F8 S17F10 S17F12 S17F14
错误结果 示例(数据值): "U4 2"
0 - 正常
1 - 不明对象
2 - 不明类别
3 - 不明对象实例
4 - 不明属性类型
5 - 仅读属性
6 - 不明类别
7 - 无效属性值
8 - 语法错误
9 - 验证错误
10 - 验证错误
11 - 正在使用的对象 ID
12 - 不正确的参数
13 - 缺少参数
14 - 请求的选项不被支持
15 - 繁忙
16 - 不可用
17 - 在当前状态下命令无效
18 - 未修改任何材料
19 - 部分处理完成
20 - 所有材料已处理完成
21 - 配方规格错误
22 - 处理时失败
23 - 不处理时失败
24 - 缺少材料
25 - 作业已中止
26 - 作业已停止
27 - 作业已取消
28 - 无法更改选定的配方
29 - 不明事件
30 - 报告 ID 重复
31 - 不明数据报告
32 - 数据报告未链接
33 - 不明跟踪报告
34 - 重复跟踪 ID
35 - 报告过多
36 - 无效样本周期
37 - 组大小过大
38 - 恢复操作无效
39 - 正在处理之前的恢复操作
40 - 无活动恢复
41 - 恢复失败
42 - 恢复已中止
43 - 无效表元素
44 - 不明表元素
45 - 无法删除预定义的
46 - 无效令牌
47 - 无效参数
48 - 不存在加载端口49 - 装载端忙
50 - 缺少载具
32768 - 需稍后启动
32769 - 现在无法执行
32770 - 因错误导致失败
32771 - 无效命令
32772 - 客户端警报
32773 - 客户端ID重复
32774 - 客户端类型无效
32775 - 不兼容版本
32776 - 不知晓的客户端ID
32777 - 完成失败
32778 - 需要干预才能成功
32779 - 发现障碍物
32780 - 材料未发送
32781 - 材料未接收
32782 - 材料丢失
32783 - 硬件错误
32784 - 转换已取消
ERRTEXT
数据类型: A:80 引用: S1F20 S3F18 S3F20 S3F22 S3F24 S3F26 S3F28 S3F30 S3F32 S3F34 S3F36 S4F20 S4F22 S4F23 S4F31
S4F33 S5F14 S5F15 S5F18 S6F25 S13F14 S13F16 S14F2 S14F4 S14F6 S14F8 S14F10 S14F12 S14F14 S14F16 S14F18 S14F20 S14F21 S14F26 S14F28 S15F4 S15F6 S15F8 S15F10 S15F12 S15F14 S15F16 S15F18 S15F20 S15F22 S15F24 S15F26 S15F28 S15F30 S15F32 S15F34 S15F36 S15F38 S15F40 S15F42 S15F44 S15F48 S15F53 S16F4 S16F6 S16F7 S16F12 S16F16 S16F18 S16F24 S16F26 S16F28 S17F4 S17F8 S17F14
错误结果描述 示例(数据值): "A:8 [no error]"
ERRW7
数据类型: A:n 引用: S7F27
程序运行错误描述 示例(数据值): "A:27 [MODLN value is inconsistent]"
EVNTSRC
数据类型: A:n 引用: S17F5 S17F9 S17F10 S17F11 S17F12
标识事件源时，使用长度为 0 的值可指定默认值。 示例(数据值): "A:0"
EVNTSRC2
数据类型: A:n 引用: S17F5
第二个事件源 EVNTSRC 示例(数据值): "A:0"
EXID
数据类型: A:20 引用: S5F9 S5F11 S5F13 S5F14 S5F15 S5F17 S5F18
异常标识符 示例(数据值): "A:10 [out of ink]"
EXMESSAGE
数据类型: A:n 引用: S5F9 S5F11
异常描述 示例(数据值): "A:30 [ink not sensed at nozzle inlet]"
EXRECVRA
数据类型: A:40 引用: S5F9 S5F13
异常恢复操作描述 示例(数据值): "A:33 [manually insert new ink cartridge]"
EXTYPE
数据类型: A:5 引用: S5F9 S5F11
异常类型为 "ALARM" /"ERROR" 示例(数据值): "A:5 [ALARM]"
FCNID
数据类型: U1:1 引用: S2F43 S2F44 S2F60
消息类型 功能值 示例(数据值): "U1:1 13"
FFROT
数据类型: U2:1 引用: S12F1 S12F3
以度为单位，从底部开始逆时针计算的胶片框架位置 示例(数据值): "U2:1 0"
FILDAT
数据类型: B 引用: S13F6
数据集 数据，为二进制或 ASCII 格式。最大长度为从文件开头开始的 RECLEN 字符数。
FNLOC
数据类型: U2:1 引用: S12F1 S12F3 S12F4
以从底部开始顺时针计度数的方式来看，平面/凹槽的位置 示例(数据值): "U2:1 0"
FRMLEN
数据类型: U4:1 引用: S7F34
如果可用，则格式化处理程序的长度；否则，长度设为 0 。 示例(数据值): "U4:1 0"
GETRSPSTAT
数据类型: U1:1 引用: S19F6 S19F8
PDE 查询的响应代码，非零值表示失败。 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 正常 1 - 未找到 2 - 锁定 3 - 不允许 255 - 其他错误
GOILACK
数据类型: U1:1 引用: S20F4
完成结果 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 完成 1 - 错误
GRANT
数据类型: B:1 引用: S2F2 S2F40 S3F16 S4F26 S13F12 S14F24 S16F2 S19F20
多区块授予代码 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 可用 1 - 繁忙 2 - 空间不足 3 - 数据ID重复
GRANT6
数据类型: B:1 引用: S6F6
多块权限授予 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 可以 1 - 忙碌 2 - 不感兴趣
GRNT1
数据类型: B:1 引用: S12F6
授予代码 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 正常 1 - 重试后仍忙 2 - 没有空间 3 - 地图过大 4 - 唯一标识符重复 5 - 材料标识符未找到 6 - 不明的地图格式
GRXLACK
数据类型: U1:1 引用: S20F12
服务完成结果 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 已完成 1 - 错误
HANDLE
数据类型: U4 引用: S13F3 S13F4 S13F5 S13F6 S13F7 S13F8
数据集的逻辑单元或标识符 示例(数据值): "U4: 1"
HCACK
数据类型: B:1 引用: S2F42 S2F50
远程命令结果 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 好的，已完成 1 - 无效命令 2 - 现在无法执行 3 - 参数错误 4 - 已启动以实现异步完成 5 - 拒绝，已处于所需状态 6 - 无效对象
HOACK
数据类型: TF:1 引用: S4F31 S4F33
handoff 成功标记 示例(数据值): "TF:1 1"
HOCANCELACK
数据类型: U1:1 引用: S4F37
hand off 取消结果 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 正常 1 - TRLINK 值未知 2 - 拒绝 - 呼叫转移已开始
HOCMDNAME
数据类型: A:n 引用: S4F29
handoff 命令标识 示例(数据值): "A:5 [allez]"
HOHALTACK
数据类型: U1:1 引用: S4F41
hand off 停止结果 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - OK 1 - TRLINK 值未知
IACDS
数据类型: U2:n 引用: S7F22
命令代码之后的立即响应数据包 示例(数据值): "U2:3 50 93 46"
IBCDS
数据类型: U2:n 引用: S7F22
命令代码之前的一系列即时指令代码的序列 示例(数据值): "U2:2 24 87"
IDTYP
数据类型: B:1 引用: S12F1 S12F3 S12F4 S12F5 S12F7 S12F9 S12F11 S12F13 S12F14 S12F15 S12F16 S12F17 S12F18
ID type 示例(数据值): "B 1"
0 - Wafer ID
1 - Wafer Cassette ID
2 - Film Frame ID (胶片框架)
INPTN
数据类型: B:1 引用: S3F35
输入材料端口编号 示例(数据值): "B:1 0x00"
ITEMACK
数据类型: B:1 引用: S21F2 S21F4 S21F6 S21F8 S21F10 S21F12 S21F12 S21F14 S21F16 S21F18 S21F20
item请求结果 示例(数据值): "B:1 0"
0 - 正常 1 - 项目类型无效 2 - 项目ID无效 3 - 一个或多个项目部分无效 4 - 尺寸超出限制 5 - 系统繁忙，请稍后再试 6 - 已经获取 7 - 权限被拒绝 8 - 未知项目 9 - 无效内容 10 - 无效版本 11 - 空间不足 12 - 项目过多 13 - 未指定错误 32 - 重试
ITEMERROR
数据类型: A:1024 引用: S21F2 S21F4 S21F6 S21F8 S21F10 S21F12 S21F14 S21F16 S21F18 S21F20
错误描述：成功时为空 示例(数据值): "A:31 [file system directory not found]"
ITEMID
数据类型: A:256 引用: S21F1 S21F3 S21F5 S21F6 S21F8
S21F11 S21F12 S21F13 S21F15 S21F16 S21F17
item 标识符 示例(数据值): "A:26 conditionHiTempChamber.rcp"
ITEMINDEX
数据类型: U4:1 引用: S21F17
组件部分的 1 基索引，0 表示已完成，0xFFFFFFFF 表示中止。 示例(数据值): "U4:1 1"
ITEMLENGTH
数据类型: U4:1 引用: S21F1 S21F3 S21F6 S21F8 S21F13 S21F16 S21F17
各项部件长度之和（以字节为单位），并非消息长度，类型为 U4 或 U8 示例(数据值): "U4:1 15440"
ITEMPART
数据类型: A:n 引用: S21F3 S21F6 S21F17
item的一个组成部分，可能是数据类型 A:n 或 B:n 示例(数据值): "A:0 "
ITEMPARTCOUNT
数据类型: U4:1 引用: S21F13 S21F16 S21F17
分批转移的物品部件总数 示例(数据值): "U4: 16"
ITEMPARTLENGTH
数据类型: U4:1 引用: S21F17
某一特定部件的长度（大概以字节为单位） 示例(数据值): "U4: 1 1024"
ITEMTYPE
数据类型: A:n 引用: S21F1 S21F3 S21F5 S21F6 S21F7 S21F8 S21F10 S21F11 S21F12 S21F13 S21F15 S21F16 S21F17 S21F19 S21F20
item的区分大小写类型 示例(数据值): "A:30 SEMI:UNFORMATTEDPROCESSPROGRAM"
ITEMTYPESUPPORT
数据类型: U4:1 引用: S21F20
位字段用于指定接受哪些 S21Fx 消息 示例(数据值): "U4:1 0"
1 - 位 1，S21F1 项目加载查询 2 - 位 2，S21F3 项目发送 4 - 位 3，S21F5 项目请求 8 - 位 4，S21F7 项目类型列表请求 16 - 位 5，S21F9 支持的项目类型列表请求 32 - 位 6，S21F11 删除 64 - 位 7，S21F13 请求权限 128 - 位 8，S21F15 项目请求 256 - 位 9，S21F17 发送项目部分
ITEMVERSION
数据类型: A:n 引用: S21F1 S21F3 S21F6 S21F8 S21F13 S21F16 S21F17
版本值：未知时为空，默认值为设备时区内的“最后修改时间”（格式为：YYYYMMDDhhmmsscc） 示例(数据值): "A:16 2020071613213423"
JOBACTION
数据类型: A:n 引用: S3F35
reticle transfer command 示例(数据值): "A:8 [simulate]"
LENGTH
数据类型: U4:1 引用: S2F1 S7F1 S7F29
程序长度（以字节为单位） 示例(数据值): "U4:1 322"
LIMITACK
数据类型: B:1 引用: S2F46
变量限制值错误代码 示例(数据值): "B:1 0x01"
1 - 限制标识不存在 2 - 上限数据库> 限制最大值 3 - 下限数据库 < 限制最小值 4 - 上限数据库 < 下限数据库 5 - 上限或下限的格式不合法 6 - 指定的 ASCII 值非数字 7 - 对此变量存在重复的限制定义
LIMITID
数据类型: B:1 引用: S2F45 S2F46 S2F48
确定了一个特定的限度 示例(数据值): "B:1 0x00"
LIMITMAX
数据类型: F4:1 引用: S2F48
上死点限制的最大允许值 示例(数据值): "F4:1 250.0"
LIMITMIN
数据类型: F4:1 引用: S2F48
下死区限值所允许的最小值 示例(数据值): "F4:1 20.0"
LINKID
数据类型: U4:1 引用: S6F25 S14F20 S14F21 S15F22 S15F30
将请求中的 RMOPID 值与完成报告相关联 示例(数据值): "U4:1 1"
LOC
数据类型: B:1 引用: S2F27 S3F2
材料存放位置代码 示例(数据值): "B:1 0x00"
LOCID
数据类型: A:n 引用: S3F29 S3F31
carrier location的名称,E87 要求提供文本信息 示例(数据值): "A [LP1]"
LOWERDB
数据类型: F4:1 引用: S2F45 S2F48
死区限制的下限值 示例(数据值): "F4:1 183.0"
LRACK
数据类型: B:1 引用: S2F36
绑定Report结果 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 正常 1 - 存储空间不足 2 - 格式无效 3 - 已定义 1 个或多个 CEID 链接 4 - 1 个或多个 RPTID 无效 5 - 1 个或多个 RPTID 无效
LVACK
数据类型: B:1 引用: S2F46
变量限制错误代码 示例(数据值): "B:1 0x01"
1 - 不存在此类 VID 2 - 该 VID 不支持相关限制 3 - 变量重复 4 - 限制值错误
MAPER
数据类型: B:1 引用: S12F19
map 错误 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 未找到 ID 1 - 数据无效 2 - 格式错误
MAPFT
数据类型: B:1 引用: S12F3 S12F5
map数据格式类型 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 列表格式 1 - 数组格式 2 - 坐标格式
MAXNUMBER
数据类型: U2:1 引用: S20F25
子空间最大值 示例(数据值): "U2:1 128"
MAXTIME
数据类型: U2:1 引用: S20F25
PEM 配方在使用后保留在 PRC 中的最长保存时间（单位：分钟），0 表示无（即无效） 示例(数据值): "U2:1 128"
MCINDEX
数据类型: U4:1 引用: S4F29 S4F31
切换命令的相关值 示例(数据值): "U4:1 1001"
MDACK
数据类型: B:1 引用: S12F8 S12F10 S12F12
map 数据回复 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 正常 1 - 格式错误 2 - 未匹配到 ID 3 - 中止/丢弃地图
MDLN
数据类型: A:20 引用: S1F2 S1F13 S1F14 S7F22 S7F23 S7F26 S7F31
设备型号类型 示例(数据值): "A:6 gemsim"
MEXP
数据类型: A:6 引用: S9F13
预期的消息格式为 SxxFyy 示例(数据值): "A:6 S07F02"
MF
数据类型: B:1 引用: S3F2 S3F4 S3F5 S3F7 S16F3 S16F11 S16F15
材料格式代码中，ASCII 表示通用单位，而 E40 则限制为 B：1 示例(数据值): "B:1 0x01"
1 - 单晶片 2 - 胶片盒 3 - 原型芯片 4 - 船 5 - 晶锭 6 - 铅框 7 - 批次 8 - magazines 9 - 封装件 10 - 平板 11 - 管道 12 - 水框 13 - 载体（FOUP、SMIF 机箱、胶片盒） 14 - 基板
MHEAD
数据类型: B:10 引用: S9F1 S9F3 S9F5 S9F7 S9F11
收到的区块的消息头 示例(数据值): "B:10 0x00 0x00 0x01 0x02 0x00 0x00 0x00 0x00 0x00 0x0f "
MID
数据类型: A:16 引用: S2F27 S3F2 S3F4 S3F7 S3F9 S3F12 S3F13 S4F1 S4F3 S4F5 S4F7 S4F9 S4F11 S4F13 S4F15 S4F17 S7F7 S7F8 S7F10 S7F11 S7F13 S7F35 S7F36
S12F1 S12F3 S12F4 S12F5 S12F7 S12F9 S12F11 S12F13 S12F14 S12F15 S12F16 S12F17 S12F18 S16F3 S18F10 S18F11 S18F16
material ID, E40 restricts to A:n 示例(数据值): "A:10 ee052793.1"
MIDAC
数据类型: B:1 引用: S3F14
material ID 结果 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 正常 1 - 端口无效 2 - 材料未存在
MIDRA
数据类型: B:1 引用: S3F12
material ID 回复结果 示例(数据值): "B:1 0x01"
0 - 中间件已跟随 1 - 未使用中间件 2 - 中间件将被发送至 S3F13
MLCL
数据类型: U4:1 引用: S12F4 S12F5
消息长度（以字节为单位） 示例(数据值): "U4:1 656"
MMODE
数据类型: B:1 引用: S7F15
matrix mode selection 示例(数据值): "B:1 0x00"
1 - host source
2 - local source
3 - host immediate
NACDS
数据类型: U2:n 引用: S7F22
非向后引导的命令 示例(数据值): "U2:0"
NBCDS
数据类型: U2:n 引用: S7F22
vector of not before command codes 示例(数据值): "U2:0"
NULBC
数据类型: A:n 引用: S12F1 S12F3 S12F4
null bin code value 示例(数据值): "A:1 [x]"
OBJACK
数据类型: U1:1 引用: S14F2 S14F4 S14F6 S14F8 S14F10 S14F12 S14F14 S14F16 S14F18 S14F26 S14F28
回复结果, 0 ok, 1 error 示例(数据值): "U1:1 0"
OBJCMD
数据类型: U1:1 引用: S14F15 S14F17
指定由对象执行的操作 示例(数据值): "U1:1 1"
1 - 附加到请求者 2 - 从请求者分离 3 - 再次附加到请求者 4 - 设置属性
OBJID
数据类型: A:80 引用: S1F19 S14F1 S14F2 S14F3 S14F4 S20F1 S20F3 S20F5 S20F7 S20F9 S20F11 S20F13 S20F15 S20F17 S20F19 S20F21 S20F23
S20F25 S20F27 S20F29 S20F31 S20F33
E39 对象标识符 1 至 80 个字符，范围为 0x20 至 0x7e，但不能包含 >、？、* 或 ~。不能以空格开头或结尾。 示例(数据值): "A:7 Job0001"
OBJSPEC
数据类型: A:n 引用: S2F49 S13F11 S13F13 S13F15 S14F1 S14F3 S14F5 S14F7 S14F9 S14F10 S14F11 S14F13 S14F15 S14F17 S14F19 S14F25 S14F27
S15F7 S15F23 S15F43 S15F47
E39 结构化文本用于标识一个对象 [object type:object id>]+ 示例(数据值): "A:21 [Table:TableARAMSCode]"
OBJTOKEN
数据类型: U4:1 引用: S14F14 S14F15 S15F37 S15F39 S15F41
用于授权的令牌 示例(数据值): "U4:1 34896"
OBJTYPE
数据类型: A:40 引用: S1F19 S14F1 S14F3 S14F6 S14F7 S14F8 S14F9 S14F25 S14F26 S14F27 S20F1 S20F3 S20F5 S20F7 S20F9 S20F11 S20F13 S20F15 S20F17 S20F19
S20F21 S20F23 S20F25 S20F27 S20F29 S20F31 S20F33
对象类名称，字符范围为 0x20 至 0x7e（即除大于、问号、星号或波浪号之外的所有字符）。名称不能以空格开头或结尾。 示例(数据值): "A Carrier"
OCEACK
数据类型: U1:1 引用: S20F6
事件完成代码 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 已完成 1 - 可行 2 - 不合格 3 - 错误
OFLACK
数据类型: B:1 引用: S1F16
offline 结果, 0 ok 示例(数据值): "B:1 0x00"
ONLACK
数据类型: B:1 引用: S1F18
online 结果, 0 ok 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 可以 1 - 拒绝 2 - 已经在线
OPEID
数据类型: A:16 引用: S20F4 S20F5 S20F6 S20F7 S20F8 S20F9 S20F11 S20F12 S20F13 S20F13 S20F15 S20F15 S20F17 S20F17 S20F18 S20F19 S20F20
S20F20 S20F21 S20F21 S20F23 S20F23 S20F27 S20F27 S20F29 S20F30 S20F31 S20F32 S20F33
配方操作标识符 示例(数据值): "A:6 eop001"
OPETYPE
数据类型: U1:1 引用: S20F3 S20F5 S20F7 S20F9 S20F11 S20F13 S20F15 S20F17 S20F19 S20F21 S20F23 S20F27 S20F29 S20F31 S20F33
配方操作类型 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - COP
1 - EOP
2 - FOP
3 - ROP
4 - POP
OPID
数据类型: U4:1 引用: S6F25 S14F19 S14F21 S15F21 S15F29 S15F30 S15F37 S15F41 S15F44 S15F46
操作标识符 示例(数据值): "U4:1 1"
ORLOC
数据类型: B:1 引用: S12F1 S12F3 S12F4
原始角度 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 晶圆的中心部分 1 - 上方右侧 2 - 上方左侧 3 - 下方左侧 4 - 下方右侧
OUTPTN
数据类型: B:1 引用: S3F35
output port (PTN) 示例(数据值): "B:1 0x02"
PARAMNAME
数据类型: A:n 引用: S3F23 S3F25
参数名称 示例(数据值): "A ServiceStatus"
PARAMVAL
数据类型: U1:1 引用: S3F23 S3F25
参数值仅有一个定义用途，即“服务状态”，其含义为：0 表示“未运行”，1 表示“正在运行” 示例(数据值): "U1:1 1"
PDEATTRIBUTE
数据类型: U1:1 引用: S19F1 S19F2
一种可报告的 PDE 属性类型，但不一定能在过滤表达式中使用 示例(数据值): "U1:1 1"
0 - 保留 1 - 名称 2 - 组ID 3 - 组名 4 - 描述 5 - 类型 6 - 可执行文件 7 - 最大前驱数量 8 - 创建日期 9 - 创建节点 10 - 作者 11 - 用户信息 12 - 供应商信息 13 - 校验码
PDEATTRIBUTENAME
数据类型: U1:1 引用: S19F1
标识了一个 PDE 属性类型 示例(数据值): "U1:1 1"
0 - 保留 1 - 名称 2 - 组ID 3 - 组名 4 - 描述 5 - 类型 6 - 可执行文件 7 - 保留 8 - 创建日期 9 - 创建节点 10 - 作者 11 - 用户信息 12 - 供应商信息
PDEATTRIBUTEVALUE
数据类型: A 引用: S19F1 S19F2
包含一个 PDE 属性的值，其类型可能为 L、A、TF 或 U1。 示例(数据值): "A [2025-12-31T17:00:03]"
PDEREF
数据类型: A:36 引用: S19F15 S19F16 S19F17
PDE 或 PDE 组的唯一标识符是以 36 个字符组成的格式呈现的，其中由 8、4、4、4 和 12 个字符组成的部分通过连字符连接在一起。 示例(数据值): "A:36 [12345678-1234-1234-1234-123456789ABC]"
PECEACK
数据类型: U1:1 引用: S20F32
事件完成代码 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 已完成 1 - 错误
PECRSLT
数据类型: U1:1 引用: S20F32
RMS 结果 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 通过 1 - 不通过
PFCD
数据类型: B:1 引用: S6F9
预定义的表单选择器 示例(数据值): "B:1 0x02"
PGRPACTION
数据类型: A:n 引用: S3F23
端口组命令，是“PORTACTION?”的别名。 示例(数据值): "A CancelReservationAtPort"
PODID
数据类型: A:n 引用: S3F35
OBJSPEC for a Pod instance 示例(数据值): "A:10 [0000000124]"
PORTACTION
数据类型: A:n 引用: S3F25
更改服务状态、取消港口预订或在港口预订 示例(数据值): "A ChangeServiceStatus"
PORTGRPNAME
数据类型: A:n 引用: S3F21 S3F23
port名称 示例(数据值): "A:7 buffer1"
PPARM
数据类型: A:n 引用: S7F23 S7F26 S7F31
工艺参数，任何标量或向量 示例(数据值): "A:5 185"
PPBODY
数据类型: B:n 引用: S7F3 S7F6 S7F36
处理程序数据，包括任何非列表类型的数据 示例(数据值): "B:0"
PPGNT
数据类型: B:1 引用: S7F2 S7F30
处理程序转移、授权及状态事宜 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 可以 1 - 已经有 2 - 没有空闲空间 3 - 无效的 PPID 4 - 繁忙，稍后再试 5 - 不接受 6 - 其他错误
PPID
数据类型: A:80 引用: S2F27 S7F1 S7F3 S7F5 S7F6 S7F8 S7F10 S7F11 S7F13 S7F17 S7F20 S7F23 S7F25 S7F26 S7F27 S7F31 S7F33 S7F34 S7F36
进程程序 ID 示例(数据值): "A:6 banana"
PRAXI
数据类型: B:1 引用: S12F1 S12F3
process access 示例(数据值): "B:1 0x00"
PRCMDNAME
数据类型: A:6 引用: S16F5
处理作业命令，包括启动、停止、暂停、恢复、中止、取消等操作。 示例(数据值): "A:6 CANCEL"
PRCPREEXECHK
数据类型: U1:1 引用: S20F25
启用预执行检查 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 禁用 1 - 启用
PRDCT
数据类型: U4:1 引用: S12F1 S12F4
在制中Die的数量 示例(数据值): "U4:1 432"
PREACK
数据类型: U1:1 引用: S20F24
事件完成代码 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 已完成 1 - 错误
PREVENTID
数据类型: U1:1 引用: S16F9
process job event ID 示例(数据值): "U1:1 1"
1 - 等待材料 2 - 工作状态变化
PRJOBID
数据类型: A:n 引用: S16F4 S16F5 S16F6 S16F7 S16F9 S16F11 S16F12 S16F15 S16F16 S16F17 S16F18 S16F20 S16F23 S16F25 S16F26 S20F27 S20F29 S20F31 S20F33
process job identifier 示例(数据值): "A:7 [pj00001]"
PRJOBMILESTONE
数据类型: U1:1 引用: S16F7
process job status 示例(数据值): "U1:1 1"
1 - 设置中 2 - 正在进行中 3 - 处理完成 4 - 任务完成 5 - 等待开始
PRJOBSPACE
数据类型: U2:1 引用: S16F22
可以创建的进程作业的数量 示例(数据值): "U2:1 32"
PRMTRLORDER
数据类型: U1:1 引用: S16F29
带作业的 process jobs 排序方式 示例(数据值): "U1:1"
1 - 到达顺序 2 - 最大化吞吐量 3 - 列表顺序
PRPAUSEEVENTID
数据类型: U4:1 引用: S16F11 S16F15
一个用于指示应暂停进程任务的事件标识符 示例(数据值): "U4:1 1501"
PRPROCESSSTART
数据类型: TF:1 引用: S16F3 S16F11 S16F15 S16F25
自动启动标志，为假则表示手动启动 示例(数据值): "TF:1 1"
PRRECIPEMETHOD
数据类型: U1:1 引用: S16F3 S16F11 S16F15
配方类型 示例(数据值): "U1:1 0"
1 - 无需变量调整的配方 2 - 需要变量调整的配方
PRSTATE
数据类型: U1:1 引用: S16F20
process job state, E40 定义 示例(数据值): "U1:1 1"
0 - 已排队/已集合 1 - 正在设置 2 - 等待开始 3 - 处理中 4 - 处理完成 5 - 已保留 6 - 暂停 7 - 已暂停 8 - 停止 9 - 中止
PSRACK
数据类型: U1:1 引用: S20F28
服务完成代码 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 已完成 1 - 错误
PSREACK
数据类型: U1:1 引用: S20F34
事件完成代码 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 已完成 1 - 错误
PTN
数据类型: U1:1 引用: S3F11 S3F12 S3F13 S3F17 S3F21 S3F25 S3F27 S3F28 S4F1 S4F3 S4F5 S4F7 S4F9 S4F11 S4F13 S4F15 S4F17
材料端口编号 E87 显示为 U1：1 类型，数据范围为 1 至 255。 示例(数据值): "U1:1 1"
QPRKEACK
数据类型: U1:1 引用: S20F30
事件完成代码 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 已完成 1 - 错误
QREACK
数据类型: U1:1 引用: S20F22
事件完成代码 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 已完成 1 - 错误
QRXLEACK
数据类型: U1:1 引用: S20F20
事件完成代码 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 已完成 1 - 错误
QUA
数据类型: B:1 引用: S3F2 S3F4 S3F5 S3F7
数量（格式限制最多为 255 位！） 示例(数据值): "B:1 0x18"
RAC
数据类型: U1:1 引用: S2F20
重置确认 示例(数据值): "U1:1 1"
0 - 同意 1 - 拒绝
RCMD
数据类型: A:n 引用: S2F21 S2F41 S2F49
远程命令方面，GEM 要求的最大字符长度为 20 个可打印字符（范围在十六进制的 21 到 7E 之间，不含空格） 示例(数据值): "A:5 [pause]"
RCPATTRDATA
数据类型: A:n 引用: S6F25 S15F13 S15F15 S15F15 S15F18 S15F18 S15F27 S15F28 S15F30 S15F32
一个配方属性的值，可以是任何类型的数据，包括列表。 示例(数据值): "A:3 150"
RCPATTRID
数据类型: A:n 引用: S6F25 S15F13 S15F15 S15F15 S15F18 S15F18 S15F27 S15F28 S15F30 S15F32
这是一个配方属性的名称，但并非用于标识配方的唯一标识符。 示例(数据值): "A:7 [author]"
RCPBODY
数据类型: B:n 引用: S15F13 S15F15 S15F18 S15F27 S15F32
配方内容
RCPBODYA
数据类型: A:n 引用: S20F15 S20F18 S20F23 S20F32
用户自定义的配方主体，列出允许的项目 示例(数据值): "A:0"
RCPCLASS
数据类型: A:n 引用: S15F11
Recipe class
RCPCMD
数据类型: U1:1 引用: S15F21 S15F22
recipe action 示例(数据值): "U1:1 5"
5 - 删除 8 - 解除保护 9 - 保护 10 - 验证 11 - 链接 12 - 解除链接 13 - 证明 14 - 取消证明 15 - 下载 16 - 上传
RCPDEL
数据类型: U1:1 引用: S15F35
recipe action 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 删除 1 - 取消选择
RCPDESCLTH
数据类型: U4:1 引用: S15F24
一份配方的字节数 示例(数据值): "U4:1 15645"
RCPDESCNM
数据类型: A:n 引用: S15F24
标识了描述符类型“ASDesc”、“BodyDesc”、“GenDesc” 示例(数据值): "A:6 ASDesc"
RCPDESCTIME
数据类型: A:16 引用: S15F24
食谱部分的时标为“YYYYMMDDhhmmsscc”格式。 示例(数据值): "A:16 2006081515441233"
RCPID
数据类型: A:n 引用: S15F21 S15F23 S15F28 S15F29 S15F30 S15F33 S15F35 S15F37 S15F41 S15F44 S15F53
符合 OBJSPEC 标准的配方标识符
RCPNAME
数据类型: A:n 引用: S15F11
配方名称 示例(数据值): "A:22 HU:me:cmos70nm-default"
RCPNEWID
数据类型: A:n 引用: S15F19 S15F41 S15F44 S15F45
新的配方识别器
RCPOWCODE
数据类型: TF:1 引用: S15F27 S15F49
“配方覆盖代码，true 表示覆盖操作可行，false 表示不进行覆盖操作。” 示例(数据值): "TF:1 1"
RCPPARNM
数据类型: A:256 引用: S15F25 S15F33 S16F3 S16F11 S16F15 S16F23
一个配方变量参数的名称 示例(数据值): "A:15 [AcclimationTime]"
RCPPARRULE
数据类型: A:80 引用: S15F25
对“配方变量参数设置”所施加的限制
RCPPARVAL
数据类型: A:80 引用: S15F25 S15F33 S16F3 S16F11 S16F15 S16F23
一个配方变量参数的值，任何标量格式类型 示例(数据值): "A:4 0.52"
RCPRENAME
数据类型: TF:1 引用: S15F19
这是一个关于是否要对食谱进行重命名（为真）还是复制（为假）的判断。 示例(数据值): "TF:1 1"
RCPSECCODE
数据类型: B:1 引用: S15F15 S15F16 S15F17
指示了配方的各个部分 示例(数据值): "B 3"
1 - 仅通用属性 3 - 通用属性及主体 4 - 所有与代理相关的特定数据集 7 - 通用属性、主体以及所有与代理相关的特定数据集 8 - 单个与代理相关的特定数据集 11 - 通用属性、主体以及单个与代理相关的特定数据集
RCPSECNM
数据类型: A:n 引用: S15F15 S15F15 S15F18 S15F18
配方部分名称：“通用”、“主体”、“ASDS” 示例(数据值): "A:4 Body"
RCPSPEC
数据类型: A:n 引用: S6F25 S15F1 S15F9 S15F13 S15F15 S15F17 S15F19 S15F27 S15F31 S15F32 S15F45 S15F53 S16F3 S16F11 S16F15
recipe specifier 示例(数据值): "A:10 [engqual001]"
RCPSTAT
数据类型: U1:1 引用: S15F10
配方状态代码 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 不存在 8 - 未受保护 9 - 受保护
RCPUPDT
数据类型: TF:1 引用: S15F13
如果是更新配方，则为“真”；如果是创建新食谱，则为“假”。 示例(数据值): "TF:1 1"
RCPVERS
数据类型: A:n 引用: S15F10 S15F12
配方版本
READLN
数据类型: U4:1 引用: S13F5
可读取的最大字节数或字符数 示例(数据值): "U4:1 16000"
REAPER
数据类型: A:80 引用: S4F27
交接文件读取器 PER 配置 示例(数据值): "A:25 [thguac tog nc.moc.tobonis]"
RECLEN
数据类型: U4:1 引用: S13F4
一个离散记录中所能容纳的最大字节数或字符数 示例(数据值): "U4:1 1024"
REFP
数据类型: I4:2 引用: S12F1 S12F4
x y 参考点 示例(数据值): "I4:2 0 0"
REPGSZ
数据类型: U4:1 引用: S2F23 S17F5
报告组大小方面，TOTSMP 除以 REPGSZ 的结果应为 0 。 示例(数据值): "U4:1 5"
RESOLUTION
数据类型: A:36 引用: S19F15 S19F16 S19F17
the UID of a PDE 示例(数据值): "A:36 [B62C4E8D-62CC-404B-BBBF-BF3E3BBB137]"
RESPDESTAT
数据类型: U1:1 引用: S19F16
status codes for PDE resolution 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 正常 1 - 输入映射无效 2 - 映射未找到 3 - PDE 引用解析被拒绝 4 - PDE 引用未找到 5 - PDE 未找到 255 - 其他错误
RESPEC
数据类型: A:n 引用: S15F29 S15F33 S15F35
该配方执行者的对象标识符
RETAINRECIPE_DISABLE
数据类型: U1:1 引用: S20F1
禁用在断开连接时自动保存配方的功能 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 保留功能未被禁用 1 - 保留功能已禁用
RETICLEID
数据类型: A:n 引用: S3F35
OBJSPEC value for a reticle 示例(数据值): "A:0"
RETICLEID2
数据类型: A:n 引用: S3F35
OBJSPEC value for a second reticle 示例(数据值): "A:0"
RETPLACEINSTR
数据类型: U1:1 引用: S3F35
pod slot reticle place instruction 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 位置 1 - 跳过 2 - 占用
RETREMOVEINSTR
数据类型: U1:1 引用: S3F35
pod slot reticle remove instruction 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 删除 1 - 跳过
REVID
数据类型: A:256 引用: S20F12 S20F13 S20F15 S20F17 S20F18 S20F20 S20F21 S20F23 S20F27 S20F30 S20F32
recipe revision information related to SRO 示例(数据值): "A:0"
RIC
数据类型: U1:1 引用: S2F19
复位代码，1 表示电源启动复位操作 示例(数据值): "U1:1 1"
RMACK
数据类型: U1:1 引用: S6F25 S15F4 S15F6 S15F8 S15F10 S15F12 S15F14 S15F16 S15F18 S15F20 S15F22 S15F24 S15F26 S15F28 S15F30 S15F32 S15F34
S15F36 S15F38 S15F40 S15F42 S15F44 S15F48 S15F53
配方管理完成代码 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 可行 1 - 无法执行操作 2 - 存在错误的情况下完成 3 - 为异步完成而启动 4 - 指定操作无相关请求存在
RMCHGSTAT
数据类型: U4:1 引用: S6F25
对象类型变更 示例(数据值): "U4:1 1"
0 - 无变化 1 - 创建 2 - 更新 3 - 存储（新数据） 4 - 替换 5 - 删除 6 - 复制（新对象） 7 - 重命名 8 - 未保护 9 - 保护 10 - 验证 11 - 链接 12 - 解链接 13 - 认证 14 - 解认证 15 - 选择 16 - 取消选择
RMCHGTYPE
数据类型: U4:1 引用: S15F37 S15F41 S15F44 S15F45 S15F46
配方的变更类型
0 - 无变化 1 - 创建 2 - 更新 5 - 删除 6 - 复制（新对象） 7 - 重命名 8 - 解除保护 9 - 产品 10 - 验证 11 - 链接 12 - 解除链接 13 - 认证 14 - 解认证 15 - 更改通用属性 16 - 更改特定于代理的属性 17 - 更改通用和特定于代理的属性两者
RMDATASIZE
数据类型: U4:1 引用: S15F1
SECS-II 消息的最大消息主体总长度 示例(数据值): "U4:1 125000"
RMGRNT
数据类型: B:1 引用: S15F2 S15F37 S15F46
授予代码，0 号有效。 示例(数据值): "B:1 0"
0 - 可以 1 - 现在不行 2 - 没有空闲空间 3 - 请求已被搁置，至于这意味着什么，我也不清楚
RMNEWNS
数据类型: A:n 引用: S15F5
一种新的配方命名空间的名称
RMNSCMD
数据类型: U1:1 引用: S15F3 S15F39 S15F41
配方命名空间命令 示例(数据值): "U1:1 1"
1 - 创建 5 - 删除
RMNSSPEC
数据类型: A:n 引用: S15F3 S15F5 S15F11 S15F21 S15F25 S15F47
配方命名空间的对象标识符
RMRECSPEC
数据类型: A:n 引用: S15F39 S15F41 S15F47
分布式配方命名空间记录器的对象标识符
RMREQUESTOR
数据类型: TF:1 引用: S15F41 S15F44
当变更请求的发起者是附属段时为真，否则为假。 示例(数据值): "TF:1 1"
RMSEGSPEC
数据类型: A:n 引用: S15F37 S15F39 S15F41 S15F44 S15F47
分布式配方命名空间段的对象标识符
RMSPACE
数据类型: U4:1 引用: S15F8
至少一种配方所占用的存储空间（以字节为单位）的大小
RMSPWD
数据类型: A:64 引用: S20F5
password of SRO user 示例(数据值): "A:4 qzzy"
RMSUSERID
数据类型: A:64 引用: S20F5
SRO userID 示例(数据值): "A:5 admin"
ROWCT
数据类型: U4:1 引用: S12F1 S12F4
模具中的行数递增量 示例(数据值): "U4:1 24"
RPMACK
数据类型: U1:1 引用: S3F36
reticle pod management ack code 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 好 1 - 服务不存在 2 - 现在无法执行 3 - 不存在的参数 4 - 以异步完成事件启动 5 - 服务未完成或被禁止 6 - 不存在的对象
RPSEL
数据类型: U1:1 引用: S12F1 S12F4
参考点选择 示例(数据值): "U1:1 0"
RPTID
数据类型: U4:1 引用: S2F33 S2F35 S2F52 S2F53 S2F54 S2F56 S6F11 S6F13 S6F16 S6F18 S6F19 S6F21 S6F27 S6F30 S17F1 S17F2 S17F3 S17F4 S17F5 S17F9 S17F11 S17F12
report ID 示例(数据值): "U4:1 1"
RPTOC
数据类型: TF:1 引用: S17F5
仅发送已更改数据的跟踪报告标志 示例(数据值): "TF:1 1"
RQCMD
数据类型: TF:1 引用: S7F22
该命令是必需的。 示例(数据值): "TF:1 1"
RRACK
数据类型: B:1 引用: S4F18
请求接收确认信息 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 正常 1 - 端口无效 2 - 物料不在该端口 3 - 重试可成功（设备繁忙） 4 - 发送方权限不足
RRACK_S20
数据类型: U1:1 引用: S20F18
服务完成代码 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 已完成 1 - 错误
RSACK
数据类型: B:1 引用: S4F2
准备发送确认信息 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 正常 1 - 端口无效 2 - 端口已被占用 3 - 重试后仍忙 4 - 接收方权限不足
RSDA
数据类型: B:1 引用: S6F24
抄送请求回复 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 正常 1 - 重试失败（忙音） 2 - 没有暂存数据
RSDC
数据类型: U1:1 引用: S6F23
spool request code 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 发送 1 - 清除
RSINF
数据类型: I4:3 引用: S12F7 S12F14
行或列的起始位置，由 x、y 值和方向三元组构成 示例(数据值): "I4:3 0 0 -1"
RSPACK
数据类型: B:1 引用: S2F44
缓冲响应 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 同意 1 - 拒绝
RTSRSPSTAT
数据类型: U1:1 引用: S19F10
PDE 传输请求回复代码，非零值表示拒绝 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 可行 1 - 资源不足 2 - 转运容器尺寸过大 3 - 存储空间不足 255 - 其他拒绝
RTYPE
数据类型: U1:1 引用: S13F4
数据记录的类型 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 流式 1 - 离散式
RecID
数据类型: A:n 引用: S20F12 S20F13 S20F15 S20F17 S20F18 S20F20 S20F21 S20F23 S20F27 S20F30 S20F32
recipe spec or ppid
SDACK
数据类型: B:1 引用: S12F2
设置数据确认，0 成功 示例(数据值): "B:1 0x00"
SDBIN
数据类型: B:1 引用: S12F17
发送 bin 数据标志，0 表示发送，其他值则表示不发送。 示例(数据值): "B:1 0x00"
SENDRSPSTAT
数据类型: U1:1 引用: S19F13
发送 PDE 请求的返回代码，非零值表示失败。 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 正常 1 - 资源不足 2 - 无法满足执行目标 3 - PDE 已存在且此时无法覆盖 4 - PDE 验证失败 5 - 传输禁止 255 - 其他错误
SEQNUM
数据类型: U4:1 引用: S7F27
处理程序命令编号 示例(数据值): "U4:1 1"
SFCD
数据类型: B:1 引用: S1F5 S1F7
状态表代码 示例(数据值): "B:1 0x01"
SHEAD
数据类型: B:10 引用: S9F9
已发送区块的消息头 示例(数据值): "B:10 0x00 0x00 0x01 0x02 0x00 0x00 0x00 0x00 0x00 0x0f "
SLOTID
数据类型: U1:1 引用: S16F11 S16F15
载具内的槽位位置 示例(数据值): "U1:1 1"
SMPLN
数据类型: U4:1 引用: S6F1
sample number 示例(数据值): "U4:1 10"
SOFTREV
数据类型: A:20 引用: S1F2 S1F13 S1F14 S7F22 S7F23 S7F26 S7F31
软件修订版 示例(数据值): "A 1.0"
SPAACK
数据类型: U1:1 引用: S2F4 S20F26
服务完成代码 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 已完成 1 - 错误
SPD
数据类型: B:n 引用: S2F3 S2F6
服务程序数据 示例(数据值): "B:3 1 2 3"
SPID
数据类型: A:6 引用: S2F1 S2F5 S2F7 S2F9 S2F12
服务程序标识符 示例(数据值): "A:6 bin007"
SPNAME
数据类型: A:n 引用: S14F19 S14F20 S14F21 S14F28
服务参数名称 示例(数据值): "A:10 [BatchLocID]"
SPR
数据类型: A:n 引用: S2F10
与设备相关，任何数据类型 示例(数据值): "A:19 [shutdown -i5 -g0 -y]"
SPVAL
数据类型: A:n 引用: S14F19 S14F20 S14F21
服务参数值，任意格式类型 示例(数据值): "A:1 1"
SSAACK
数据类型: U1:1 引用: S20F2
服务完成代码 示例(数据值): "U4:1 0"
0 - 已完成 1 - 错误
SSACK
数据类型: A:2 引用: S18F2 S18F4 S18F6 S18F8 S18F10 S18F12 S18F14 S18F16
两个表示成功或失败的代码：NO（正常）、EE 执行错误、CE 通信错误、HE 硬件错误、TE 标签错误 示例(数据值): "A:2 NO"
SSCMD
数据类型: A:n 引用: S18F13
子系统操作命令
STATUS
数据类型: A:n 引用: S18F2 S18F4 S18F6 S18F8 S18F10 S18F12 S18F14 S18F16
子系统状态数据
STATUSTXT
数据类型: A:80 引用: S19F2 S19F4 S19F6 S19F8 S19F10 S19F13 S19F16 S19F18
状态响应描述 示例(数据值): "A:2 [Ok]"
STIME
数据类型: A:32 引用: S6F1
ECV TimeFormat 控制时间格式，
0 为：A:12 YYMMDDHHMMSS，
1 为：A:16 YYYYMMDDHHMMSScc，
2 为：YYYY-MM-DDTHH：MM:SS.ss*[Z|+hh:mm|-hh:mm] 示例(数据值): "A:16 2005041209345240"
STRACK
数据类型: B:1 引用: S2F44
流式数据转储确认 示例(数据值): "B:1 0x00"
1 - 该功能不适用于流媒体 2 - 不明的流媒体类型 3 - 不明的功能 4 - 附加功能
STRID
数据类型: U1:1 引用: S2F43 S2F44 S2F60
stream value 示例(数据值): "U1:1 6"
STRP
数据类型: I2:2 引用: S12F9 S12F16
x y 坐标起始位置 示例(数据值): "I2:2 0 0"
SV
数据类型: A:n 引用: S1F4 S1F6 S6F1
状态变量值 示例(数据值): "U1:1 65"
SV0
数据类型: A:0 引用: S1F8
零长度值用于传达格式类型 示例(数据值): "A:0"
SVCACK
数据类型: B:1 引用: S14F20 S14F20 S14F21
服务确认码 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 已完成 1 - 未知服务 2 - 现在无法执行 3 - 一个或多个参数无效 4 - 已启动以实现异步完成 5 - 未完成或被禁止 6 - 不存在该对象
SVCNAME
数据类型: A:n 引用: S14F19 S14F26 S14F27 S14F28
服务名称 示例(数据值): "A:5 [pause]"
SVID
数据类型: U4:1 引用: S1F3 S1F11 S1F12 S2F23
状态变量 ID 示例(数据值): "U4:1 810"
SVNAME
数据类型: A:n 引用: S1F8 S1F12
状态变量名称 示例(数据值): "A:13 [AlarmsEnabled]"
TARGETID
数据类型: A:n 引用: S18F1 S18F2 S18F3 S18F4 S18F5 S18F6 S18F7 S18F8 S18F9 S18F10 S18F11 S18F12 S18F13 S18F14 S18F15 S18F16
目标对象的“对象规范 示例(数据值): "A:2 01"
TARGETPDE
数据类型: A:36 引用: S19F15 S19F17
目标 PDE 的 UID，是一个由 36 个字符组成的字符串，其中包含 8、4、4、4 和 12 个字符的连续段，并通过连字符连接在一起。 示例(数据值): "A:36 [ABCD0123-62CC-404b-BBBF-BF3E3BBB1374]"
TARGETSPEC
数据类型: A:40 引用: S14F17 S15F43
目标对象的限定词
TBLACK
数据类型: U1:1 引用: S13F14 S13F16
结果代码 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 正常 1 - 失败
TBLCMD
数据类型: U1:1 引用: S13F13 S13F15
table command 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 完整表格 1 - 新行（添加） 2 - 新列（追加） 3 - 替换行 4 - 替换列
TBLELT
数据类型: A:n 引用: S13F13 S13F15 S13F16
表元素可为任意类型，但不建议使用列表类型或数组类型。第一列的类型必须是主键值，不能是列表或数组。 示例(数据值): "A:4 [0001]"
TBLID
数据类型: A:80 引用: S13F13 S13F15 S13F16
表标识符，一种 OBJSPEC 类型的元素 示例(数据值): "A:14 [Table:TableARAMSCode]"
TBLTYP
数据类型: A:n 引用: S13F13 S13F15 S13F16
表示表格的格式和应用方式，符合 OBJTYPE 标准。 示例(数据值): "A:5 [Table]"
TCID
数据类型: A:36 引用: S19F6 S19F8 S19F9 S19F10 S19F11
指定的转运容器的标识为一个 36 位字符串，由 8 个、4 个、4 个、4 个和 12 个字符组成，并通过连字符连接在一起。 示例(数据值): "A:36 [ff478f2d-e398-449a-93d4-62b072789fed]"
TEXT
数据类型: A:120 引用: S10F1 S10F3 S10F5 S10F9
用于显示的文本行，无标准的最大尺寸限制 示例(数据值): "A:38 [chamber cleaning PM must be done NEXT!]"
TIAACK
数据类型: B:1 引用: S2F24
追踪确认码 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 正常 1 - SVID 数量过多 2 - 不再允许记录痕迹 3 - 期限无效 4 - 不明的 SVID 5 - REPGSZ 错误
TIACK
数据类型: B:1 引用: S2F32
时间设定 已确认 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 可以 1 - 未完成
TID
数据类型: B:1 引用: S10F1 S10F3 S10F5 S10F7
terminal ID 示例(数据值): "B:1 0x00"
TIME
数据类型: A:32 引用: S2F18 S2F31
ECV TimeFormat 控制时间格式，
0 为：A:12 YYMMDDHHMMSS，
1 为：A:16 YYYYMMDDHHMMSScc，
2 为：YYYY-MM-DDTHH：MM:SS.ss*[Z|+hh:mm|-hh:mm] 示例(数据值): "A:16 2008121708371902"
TIMESTAMP
数据类型: A:32 引用: S5F9 S5F11 S5F15 S15F41 S15F44 S16F7 S16F9 S20F12 S20F13 S20F15 S20F17 S20F18 S20F20
S20F21 S20F23 S20F27 S20F30 S20F32
ECV TimeFormat controls format, 0=A:12 YYMMDDHHMMSS, 1=A:16 YYYYMMDDHHMMSScc,2=YYYY-MM-DDTHH:MM:SS.s[s]*[Z|+hh:mm|-hh:mm] 示例(数据值): "A:16 2005041408103105"
TOTSMP
数据类型: U4:1 引用: S2F23 S17F5
总共需要制作的样本数量，应为 REPGSZ 的整数倍。 示例(数据值): "U4:1 100"
TRACK
数据类型: TF:1 引用: S4F20 S4F22 S4F23
转移活动成功标志 示例(数据值): "TF:1 1"
TRANSFERSIZE
数据类型: U8:1 引用: S19F9
传输容器的字节大小。其大小为 8 个字节，但 HSMS 实际上使用的是 4 字节的消息长度！ 示例(数据值): "U8:1 0x0000007F"
TRATOMCID
数据类型: U4:1 引用: S4F20
assigned identifier for atomic transfer 示例(数据值): "U4:1 101"
TRAUTOD
数据类型: TF:1 引用: S17F5
完成时删除标志 示例(数据值): "TF:1 1"
TRAUTOSTART
数据类型: TF:1 引用: S4F19
如果在准备就绪时由主控方启动了真正的物料传输操作 示例(数据值): "TF:1 0"
TRCMDNAME
数据类型: A:n 引用: S4F21
文本枚举：取消、暂停、继续、恢复、终止、停止、启动切换 示例(数据值): "A:5 [pause]"
TRDIR
数据类型: U1:1 引用: S4F19 S4F27
转移方向 示例(数据值): "U1:1 1"
1 - 发送材料 2 - 接收材料
TRID
数据类型: A:n 引用: S2F23 S2F62 S6F1 S6F27 S6F28 S6F30 S17F5 S17F6 S17F7 S17F8 S17F13 S17F14
跟踪请求 ID 示例(数据值): "A:1 1"
TRJOBID
数据类型: B:1 引用: S4F20 S4F21 S4F23
转移任务的分配标识符 示例(数据值): "B:1 0x60"
TRJOBMS
数据类型: U1:1 引用: S4F23
转移工作标记 示例(数据值): "U1:1 1"
1 - 开始 2 - 完成
TRJOBNAME
数据类型: A:80 引用: S4F19 S4F23
为传输任务分配了主机分配的标识号 示例(数据值): "A:13 TJH_U_M_E1086"
TRLINK
数据类型: U4:1 引用: S4F19 S4F27 S4F29 S4F31 S4F33 S4F35 S4F37 S4F39 S4F41
任务标识符关联值 示例(数据值): "U4:1 3"
TRLOCATION
数据类型: U4:1 引用: S4F19 S4F27
材料转移地点 示例(数据值): "U4:1 1"
TROBJNAME
数据类型: A:n 引用: S4F19 S4F27
确定要转移的材料 示例(数据值): "A:7 [c000678]"
TROBJTYPE
数据类型: U4:1 引用: S4F19 S4F27
确定要传输的物体的类型 示例(数据值): "U4:1 7"
TRPORT
数据类型: U4:1 引用: S4F19 S4F27
port identifier 示例(数据值): "U4:1 1"
TRPTNR
数据类型: A:n 引用: S4F19 S4F27
转接设备的制造商名称 示例(数据值): "A:7 [AGV0001]"
TRPTPORT
数据类型: U4:1 引用: S4F19 S4F27
transfer partner port 示例(数据值): "U4:1 1"
TRRCP
数据类型: A:80 引用: S4F19
此次交接的转移配方名称 示例(数据值): "A:17 [standard exchange]"
TRROLE
数据类型: U1:1 引用: S4F19 S4F27
表示设备转移功能 示例(数据值): "U1:1 1"
1 - 基本的 2 - 次要的
TRTYPE
数据类型: U1:1 引用: S4F19 S4F27
设备是主动或被动的传输参与者 示例(数据值): "U1:1 1"
1 - 主动的 2 - 被动的
TSIP
数据类型: B:n 引用: S1F10
输入端口的传输状态 示例(数据值): "B:1 0x01"
1 - 闲置 2 - 介词 3 - 关注 4 - 被卡在接收器里
TSOP
数据类型: B:n 引用: S1F10
输出端口的传输状态 示例(数据值): "B:1 0x01"
1 - 闲置 2 - 介词 3 - 关注 4 - 被发送方卡住 5 - 完成
TTC
数据类型: U4:1 引用: S3F4
完成时间，标准中未规定单位（单位未明确），以秒为单位吗？ 示例(数据值): "U4:1 286"
TYPEID
数据类型: U1:1 引用: S20F12 S20F13 S20F15 S20F17 S20F18 S20F20 S20F21 S20F23 S20F27 S20F30 S20F32
配方类型 示例(数据值): "U1:1 1"
0 - 未使用 1 - 过程链接 2 - 过程主程序 3 - 过程单元 4 - 活动 5 - 配方任务
UID
数据类型: A:36 引用: S19F2 S19F3 S19F4 S19F5 S19F6 S19F7 S19F8 S19F13 S19F16 S19F18
参考 SEMI E139 标准。PDE（产品设计元素）的唯一标识符由一个 36 个字符的字符串构成，该字符串由 8、4、4、4 和 12 个字符的连续段以连字符分隔而成。 示例(数据值): "A:36 -123444447036"
UNFLEN
数据类型: U4:1 引用: S7F34
未格式化的处理程序程序长度（若有，则显示其长度；否则显示 0） 示例(数据值): "U4:1 0"
UNITS
数据类型: A:n 引用: S1F12 S1F22 S2F30 S2F48
单位标识符（见 E5 第 9 节） 示例(数据值): "A:0"
UPPERDB
数据类型: F4:1 引用: S2F45 S2F48
死区限制的上限值 示例(数据值): "F4:1 185.0"
V
数据类型: A:n 引用: S6F11 S6F13 S6F16 S6F18 S6F20 S6F22 S6F27 S6F30 S16F9
死区限制变量值的上限，包括列表在内的任何类型均可。 示例(数据值): "A:1 0"
VERID
数据类型: A:n 引用: S20F12 S20F13 S20F15 S20F17 S20F18 S20F20 S20F21 S20F23 S20F27 S20F30 S20F32
死区限制变量值的上限，其类型包括列表、复合键（其中包含“RecipeID”以标识唯一的食谱） 示例(数据值): "A:5 1.0.5"
VERIFYDEPTH
数据类型: U1:1 引用: S19F17
是只检查目标，还是同时检查目标以及所有引用的 PDE（参数化设计表达式）呢？ 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 仅目标对象 1 - 既包括目标对象也包括所有直接或间接相关的对象
VERIFYRSPSTAT
数据类型: U1:1 引用: S19F13 S19F18
PDE 验证结果：0 成功，10 未通过，其他有错误。 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 成功 1 - 输入映射无效 2 - PDE 引用未找到 3 - PDE 引用解析被拒绝 4 - PDE 引用未找到 5 - PDE 未找到 6 - 校验和错误 7 - 语法错误 8 - 内容错误 9 - 执行目标不匹配 10 - 输出参数错误 11 - 未进行验证 255 - 其他验证错误
VERIFYSUCCESS
数据类型: TF:1 引用: S19F18
如果未发现任何错误，则为真。 示例(数据值): "TF:1 1"
VERIFYTYPE
数据类型: U1:1 引用: S19F17
选择验证类型 示例(数据值): "U1:1 0"
0 - 哈希值验证 1 - 完整验证
VID
数据类型: A:n 引用: S1F21 S1F22 S1F24 S2F33 S2F45 S2F46 S2F47 S2F48 S2F54 S6F13 S6F18 S6F22 S16F9 S17F1
A variable ID 示例(数据值): "A:3 810"
VLAACK
数据类型: B:1 引用: S2F46
可变限制属性确认 示例(数据值): "B:1 0x00"
0 - 好 1 - 属性定义限制错误 2 - 现在无法执行
WRACK
数据类型: U1:1 引用: S20F16
服务完成代码 示例(数据值): "U4:1 0"
0 - 已完成 1 - 完全完成 2 - 错误
XDIES
数据类型: F4:1 引用: S12F1 S12F4
X轴芯片尺寸 示例(数据值): "F4 5.0"
XYPOS
数据类型: I2:2 引用: S12F11 S12F18
x 和 y 坐标位置 示例(数据值): "I2:2 0 0"
YDIES
数据类型: F4:1 引用: S12F1 S12F4
Y轴芯片尺寸 示例(数据值): "F4 7.2"
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