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S12 - Wafer Maps

S12F1​

Map Setup Data Send (E->H) Comment: 设备向主机发送晶圆图（Map）配置数据。 消息格式:

	{L:15
		MID
		IDTYP
		FNLOC
		FFROT
		ORLOC
		RPSEL
		{L:n
			REFP
		}
		DUTMS
		XDIES
		YDIES
		ROWCT
		COLCT
		NULBC
		PRDCT
		PRAXI
	}

S12F2​

Map Setup Data Acknowledge (H->E) 消息格式:

	SDACK

S12F3​

Map Setup Data Request (E->H) Comment: 设备向主机请求晶圆图配置数据。 消息格式:

	{L:9
		MID
		IDTYP
		MAPFT
		FNLOC
		FFROT
		ORLOC
		PRAXI
		BCEQU
		NULBC
	}

S12F4​

Map Setup Data (H->E) 消息格式:

	{L:15
		MID
		IDTYP
		FNLOC
		ORLOC
		RPSEL
		{L:n
			REFP
		}
		DUTMS
		XDIES
		YDIES
		ROWCT
		COLCT
		PRDCT
		BCEQU
		NULBC
		MLCL
	}

S12F5​

Map Transmit Inquire (E->H) Comment: 设备询问主机是否允许发送晶圆图数据。 消息格式:

	{L:4
		MID
		IDTYP
		MAPFT
		MLCL
	}

S12F6​

Map Transmit Grant (H->E) 消息格式:

	GRNT1

S12F7​

Map Data Send Type 1 (E->H) Comment: 设备向主机发送晶圆图数据（类型1：行/列信息）。 消息格式:

	{L:3
		MID
		IDTYP
		{L:n
			{L:2
				RSINF
				BINLT
			}
		}
	}

S12F8​

Map Data Ack Type 1 (H->E) 消息格式:

	MDACK

S12F9​

Map Data Send Type 2 (E->H) Comment: 设备向主机发送晶圆图数据（类型2：条带信息）。 消息格式:

	{L:4
		MID
		IDTYP
		STRP
		BINLT
	}

S12F10​

Map Data Ack Type 2 (H->E) 消息格式:

	MDACK

S12F11​

Map Data Send Type 3 (E->H) Comment: 设备向主机发送晶圆图数据（类型3：坐标信息）。 消息格式:

	{L:3
		MID
		IDTYP
		{L:n
			{L:2
				XYPOS
				BINLT
			}
		}
	}

S12F12​

Map Data Ack Type 3 (H->E) 消息格式:

	MDACK

S12F13​

Map Data Request Type 1 (E->H) Comment: 设备向主机请求晶圆图数据（类型1）。 消息格式:

	{L:2
		MID
		IDTYP
	}

S12F14​

Map Data Type 1 (H->E) 消息格式:

	{L:3
		MID
		IDTYP
		{L:n
			{L:2
				RSINF
				BINLT
			}
		}
	}

S12F15​

Map Data Request Type 2 (E->H) Comment: 设备向主机请求晶圆图数据（类型2）。 消息格式:

	{L:2
		MID
		IDTYP
	}

S12F16​

Map Data Type 2 (H->E) 消息格式:

	{L:4
		MID
		IDTYP
		STRP
		BINLT
	}

S12F17​

Map Data Request Type 3 (E->H) Comment: 设备向主机请求晶圆图数据（类型3）。 消息格式:

	{L:3
		MID
		IDTYP
		SDBIN
	}

S12F18​

Map Data Type 3 (H->E) 消息格式:

	{L:3
		MID
		IDTYP
		{L:n
			{L:2
				XYPOS
				BINLT
			}
		}
	}

S12F19​

Map Error Report Send (H->E,E->H) Comment: 主机或设备发送晶圆图错误报告。 消息格式:

	{L:2
		MAPER
		DATLC
	}

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