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Alarm

“Alarm Management” 围绕半导体设备在 SECS-II/GEM 环境下的异常（报警）定义、状态模型、通知机制、主机侧管理操作以及实现要求，给出了完整的技术规范。可归纳为以下 9 大知识块：

1. 目的（Purpose）​

  • 解决业界对“报警”缺乏统一定义导致的实现不一致。
  • 在 Stream-5 固定长度报警报告基础上，提供可扩展的、带时间戳与关联数据的报警通知机制。
  • 支持主机对报警使能/禁止、列表查询、文本获取等管理功能。

2. 核心定义（Definitions）​

  • 报警（Alarm）：任何危及人员、设备或材料物理安全的异常；由设备商按物理安全限设定，报警存在时必须抑制相关作业。
  • ALCD （Alarm Code）：仅使用 bit-8 的置位/清除位表示报警状态；bit-1~7 的类别码本标准未用。
  • ALID：报警唯一编号；ALTX：简短文本描述；AlarmsSet/AlarmsEnabled：两个状态变量，分别列出当前置位且已使能的报警。
  • 报警状态机仅两状态：ALARM CLEAR（安全）↔ ALARM SET（报警）。
ALCD

ALCD

-- bit-8 位按十进制为128，可以按照128为发生报警0为消除报警

-- bit-1~7 组成十进制数报警类别1-9含义如图所示。

-- E30 仅使用了bit8的功能 置位/清除报警,未使用报警类别

3. 报警状态模型（State Model）​

AL_State

  • 每个 ALIDn 独立维护图所示两级状态；任何时刻必处其一。
  • 状态迁移触发及动作：检测到异常→置位并本地保护→更新 AlarmsSet/ALCD→发送报告（若使能）；异常消失→清除并更新→再次报告。

4. 报警与事件的区别​

  • 报警＝异常＋安全威胁＋作业受抑制；事件＝普通可检测发生。
  • 报警具有双向状态机；事件仅瞬时发生。
  • 报警可强制中断设备动作，事件通常不会。

5. 双通道通知机制​

a) Stream-5 简短报警报告（S5,F1/F2）：固定格式，快速通知。 b) Stream-6 集合事件报告（S6,F11/F12）：利用“Alarm n Detected / Cleared”两个 CEID，可附带任意变量数据，满足详细追溯需求。

  • 同一报警的两种报告可独立使能；报警置位/清除事件也可单独使能/禁止。

6. 主机管理命令​

  • S5,F3/F4：按 ALID 列表使能/禁止报警报告（影响 S5,F1 及事件两者）。
  • S5,F5/F6：获取指定 ALID 的 ALTX 文本。
  • 通过读取 AlarmsEnabled/AlarmsSet 状态变量，可轮询当前使能与置位列表。
  • 所有使能状态须掉电保存；上电恢复。

7. 要求汇总（Requirements）​

  • 设备商必须依据物理安全限定义完整报警列表，给出 ALID、ALTX、触发条件、复位方法。
  • 每个报警须分配两个 CEID（Detected / Cleared）。
  • 报警报告（Stream-5）必须优先于对应的事件报告发送。
  • 报警状态变化须实时更新 AlarmsSet 等变量；所有使能/禁止设定须写入非易失存储。

8. 典型场景（Scenarios）​

  • 主机使能/禁止报警：S5,F3 → S5,F4。
  • 上传报警文本：S5,F5 → S5,F6。
  • 报警发生/解除自动报告：S5,F1 ← 设备，主机以 S5,F2 应答；同时可选 S6,F11 ← 设备（事件形式），主机以 S6,F12 应答。
  • 主机通过通用数据收集（S6,F19/S6,F20 或报告定义）读取 AlarmsSet/AlarmsEnabled。

9. 实现提示​

  • 报警功能不替代现场光/声等硬安全装置；主机无法在线消除报警根源，仅负责信息追溯与统计分析。
  • 设备文档必须列明每个报警的触发源、复位步骤及受影响对象（操作员/设备/材料）。
  • 若报警条件在通信中断期间变化，应在通信恢复后按实际状态立即上报，确保主机同步。

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