Dynamic Event Report Configuration
Dynamic Event Report Configuration 是 GEM 在“数据采集(Data Collection)”体系中最具灵活性、也是实现复杂自动化系统时最常被测试的能力之一。
🧩 一、核心概念速览
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 能力名称 | Dynamic Event Report Configuration(动态事件报告配置) |
| 所在章节 | §4.2.1.2(页 24–25) |
| 相关能力 | Static Report Configuration (§4.2.1.1)、Event Report Enable/Disable (§4.2.2) |
| 对应消息 | S2,F33 Define Report, S2,F35 Link Event Report, S2,F37 Enable/Disable Event Report, S2,F37 Request |
| 核心目的 | 允许主机在运行时(非静态配置)通过 SECS-II 消息定义、修改、删除报告及事件与报告之间的关联关系 |
| 为什么重要 | 它使主机能根据生产场景临时调整数据收集策略(如仅在特定批次、特定Recipe下采集特定变量),实现灵活的数据采集体系 |
🔍 二、深度解析
1️⃣ 能力定义与目的
“Dynamic Event Report Configuration” 是指主机可通过通信消息,在设备运行过程中动态地创建、修改、删除 Reports,并将它们与 Collection Events (CEIDs) 关联起来。
也就是说,这个能力允许主机动态决定:
-
哪些数据变量(SVIDs / DVIDs)应该组成一个报告(Report);
-
哪些事件(CEID)触发该报告;
-
是否启用/禁用报告发送。
对比:
-
Static Configuration:Report、Event 与 Data Variable 的绑定由设备在设计阶段固定。
-
Dynamic Configuration:Report/Event 关系在运行时由主机动态定义,配置可以变化。
这体现了 GEM 的“主机主导采集策略”设计理念。
在现代 EAP 系统中,这个能力常用来按工艺阶段、按Recipe类型、按Lot动态注册事件与变量。
2️⃣ 动态报告的构成层次(逻辑模型)
Dynamic Event Report Configuration 涉及三种核心对象:
| 对象 | 描述 | 定义消息 |
|---|---|---|
| Report | 一组逻辑上同时发送的变量集合(含 SVID/DVID)。 | S2,F33 Define Report |
| Collection Event (CEID) | 设备内部定义的触发点,例如“Lot Start”、“Wafer Complete”。 | 设备预定义 |
| Event-Report Link | 把 CEID 与一个或多个 Report 绑定,指定当事件发生时发送哪些报告。 | S2,F35 Link Event Report |
GEM 规定设备必须至少支持一种机制使主机通过上述消息定义和链接事件与报告。
流程示意:
-
主机发送 S2,F33 定义报告结构(Report ID + Variable List)。
-
主机发送 S2,F35 链接 CEID 与 Report。
-
主机通过 S2,F37 启用相应 CEID 报告。
-
当 CEID 触发时,设备发送 S6,F11 Report Message 给主机。
3️⃣ 要求与约束(MUST / MAY)
-
MUST:若设备声明支持“Dynamic Event Report Configuration”能力,则必须支持:
-
S2,F33(Define Report)
-
S2,F35(Link Event Report)
-
S2,F37(Enable/Disable Event Report)
-
-
MUST:在接收到定义、删除或链接指令后,设备必须立即更新内部配置并能在后续事件中正确反映该变化。
-
MAY:设备可以限制最大可定义的 Report 数量、最大变量数等,但必须通过 Equipment Constant(EC) 提供这些限制参数(例如
MAXREPORTS、MAXREPORTVARS)。 -
SHALL:设备应在断电或通信中断后保持配置一致性(是否持久化可由 EC 控制)。
小结:实现动态配置能力意味着设备需维护一套可运行时修改的“事件→报告→变量”映射表,且要保证在状态同步、断点恢复中一致性。
4️⃣ 通信行为示例(简化版)
| 步骤 | 方向 | SECS-II 消息 | 描述 |
|---|---|---|---|
| 1 | Host → Eqp | S2,F33 W | 定义 Report 1001,包含 SVID=110,111 |
| 2 | Host → Eqp | S2,F35 W | 将 CEID=2001 链接到 Report 1001 |
| 3 | Host → Eqp | S2,F37 W | 启用 CEID=2001 |
| 4 | Eqp → Host | S6,F11 | 当 CEID=2001 发生时,发送报告(含 SVID110,111) |
这套定义-链接-启用的序列是 GEM 的标准模板,在 EAP 测试中通常称为 “DRC 测试流程”。
5️⃣ 实现建议(设备端视角)
设备端软件应具备以下机制来支撑该能力:
| 功能 | 实现要点 |
|---|---|
| Report 管理表 | 动态存储 Report ID、变量列表(SVID/DVID)。支持增删改查。 |
| Event-Report 链接表 | 维护 CEID 与 Report 的多对多映射。 |
| 事件触发引擎 | 触发 CEID 时查表找到关联 Report 并生成 S6,F11。 |
| 持久化策略 | 若断电需保留配置,则需非易失性存储(依据 EC 设置)。 |
| 限制参数 | 通过 EC 提供可定义的最大数量限制(例:MAX_REPORTS、MAX_LINKS_PER_EVENT)。 |
6️⃣ 与其他能力的关系
| 相关能力 | 说明 |
|---|---|
| Static Event Report Configuration | 设备内预设的固定报告结构。动态配置在其基础上增加灵活性。 |
| **Collection Event Enable/Disable ** | 控制事件是否被触发(即报告发送是否启用)。 |
| **Data Variable Access ** | 定义报告中可用的数据变量(SVID、DVID、ECID)。 |
| **Spooling ** | 当通信断开时缓存待发送报告,恢复后批量发送。 |
🧭 三、一句话总结
Dynamic Event Report Configuration 让主机能在运行时通过 S2,F33 / S2,F35 / S2,F37 等消息动态定义报告并绑定事件,从而实现“灵活可重构的数据采集系统”,是 GEM 数据采集体系的核心能力之一。
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