ProcessState
核心概念速览
| 概念 | 30 秒速懂 |
|---|---|
| 加工状态模型 | 把设备从“空闲”到“正在干活”再到“收工”的全过程拆成若干“状态”，主机一看就知道机器在干嘛。 |
| 必备 6 态 | IDLE → SETUP → READY → EXECUTING → PAUSE → 回到 IDLE（图 3.4）。 |
| 状态转移 | 任何切换必须上报对应 Collection Event，主机像追剧一样实时同步。 |
| 可扩展 | 允许设备商加“子状态”，但不得与 6 态冲突。 |
深度解析
1. 为什么要有“加工状态”？
- 设备如果只报“我忙”或“我闲”，主机无法判断能否远程 START、会不会误触料。
- GEM 把“忙”细拆成 4 级：准备中(SETUP) → 等人下令(READY) → 自动跑片(EXECUTING) → 暂停中(PAUSE)。主机可精准投料、调度 AGV，甚至预测维护窗口。
2. 6 态流水线拆解
| 状态 | 典型场景 | 主机能做的事 |
|---|---|---|
| IDLE | 刚上电/跑完一批/被 ABORT | 下载配方、改 Equipment Constant |
| SETUP | 校验温度、抽真空、找基准 | 读 SV 看进度，不能远程 START |
| READY | 材料就位、参数 OK，只欠东风 | 可远程 START，也可本地点 START |
| EXECUTING | 真正刻蚀/沉积/离子注入 | 可 STOP/PAUSE，不可改关键 ECV |
| PAUSE | 临时开门、补料、量测 | 可 RESUME/STOP/ABORT |
| （回到 IDLE） | 跑完或被 STOP/ABORT | 准备下一批 |
状态切换 = 事件：GEM 强制每个箭头都对应一个 CEID（如
Processing Started/Processing Completed）
3. 设备商“加戏”规则
- 允许在 EXECUTING 下再细分 “RAMP-UP/MAIN-STEP/COOL-DOWN”子状态(见E10手册)，但：
– 必须再定义子状态切换的 CEID；
– 不得屏蔽父状态事件。 - 例：刻蚀机可在 EXECUTING 里加 “ETCH/POST-ETCH-CLEAN”，主机仍能看到顶层 EXECUTING，但也能订阅“进入 ETCH”事件做更细排程。
4. 主机开发提示
- 先读
ProcessState（SV）再发令：若不在 READY，START 会被拒。 - 监听
Processing State Change事件包，内含PreviousProcessState+ProcessState，一条消息就能画状态机曲线。 - PAUSE ≠ STOP：PAUSE 可 RESUME 继续原配方；STOP 会强制回 IDLE，料可能报废（p.17 表 3.4 注释）。
一句话总结
GEM 把设备“黑盒”切成 6 段透明状态，任何拐弯都主动打报告，主机无需敲门就知道能不能远程“按开始”。同时可扩展更详细的子状态详情见E10
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